• 产品名称：气体沟槽盖板。
• 产品简介：是 AMAT 半导体设备气路系统的专用盖板部件，用于覆盖设备中的气体沟槽，保护沟槽内部气路、传感器等部件免受灰尘、杂质污染，同时起到密封、保温及防护作用，适配 200mm、300mm 等规格的半导体设备气路结构。
• 技术规格
  • 适配尺寸：对应 AMAT 设备特定气体沟槽的尺寸，适配 200mm 或 300mm 晶圆工艺设备。
  • 材质：采用铝合金或不锈钢等金属材质，表面经防腐、防静电处理。
  • 密封性能：配备专用密封件，适配设备沟槽密封要求，防止气体泄漏与外部污染。
  • 安装方式：采用螺栓固定，符合设备快速拆装需求，安装孔位精准匹配设备预留接口。
• 功能特点
  • 防护功能强，可有效阻挡外部灰尘、颗粒等进入气体沟槽，保障气路系统洁净度。
  • 辅助密封，增强气体沟槽内部气路的密封性，减少气体泄漏风险。
  • 结构坚固，耐半导体车间的温湿度环境，不易变形损坏。
  • 设计符合设备维护需求，拆装便捷，便于对沟槽内部部件进行检修。
• 应用场景：用于 AMAT Centura、Endura 等系列半导体刻蚀、沉积设备的气路沟槽防护，适配晶圆制造过程中各类需要气体输送的工艺模块，如刻蚀腔室的气体输送沟槽、沉积设备的前驱体气体沟槽等。