• 产品名称：传感器组件。
• 产品简介：是 AMAT 半导体设备专用的传感器组件，用于对设备运行过程中的压力、温度、位置、气体流量等工艺参数进行精准检测，将检测信号反馈给设备控制系统，为工艺控制与设备状态监控提供数据支撑，是保障半导体工艺稳定性与设备安全运行的重要部件。
• 技术规格
  • 检测类型：根据适配设备工艺需求，可能为压力传感器、温度传感器、位置传感器等。
  • 测量范围：适配半导体工艺对应的参数区间，如压力 0-1000 Torr、温度 0-300℃等。
  • 精度等级：符合半导体工艺高精度要求，测量误差通常在 ±1% 以内。
  • 输出信号：标准工业信号，如 4-20mA 电流信号、0-10V 电压信号等，适配设备控制系统接口。
  • 工作环境：适配半导体设备的真空、高温、腐蚀性等恶劣环境。
• 功能特点
  • 检测精度高，响应速度快，能实时捕捉工艺参数的细微变化。
  • 稳定性强，在长期连续运行状态下仍能保持精准的检测性能。
  • 具备抗干扰能力，可抵御半导体设备运行过程中的电磁、振动等干扰。
  • 结构设计适配设备安装空间，安装便捷，密封性能好，适配真空环境。
• 应用场景：广泛应用于 AMAT 各类半导体制造设备，如刻蚀机、沉积设备、离子注入机等，用于工艺腔室、气路系统、传动机构等部位的参数检测，适配逻辑芯片、存储芯片等的晶圆制造全流程。