• 产品名称：气体控制阀组件。
• 产品简介：是 AMAT 生产的半导体设备专用气体控制阀，用于精准控制半导体工艺中各类气体的通断与流量调节，适配设备气路系统的不同位置，如工艺气体输入、尾气排放等环节，保障气体流量与压力符合工艺设定要求，是半导体设备气路控制的核心部件之一。
• 技术规格
  • 适用气体类型：半导体工艺常用气体，包括惰性气体、反应性气体、腐蚀性气体等。
  • 工作压力：适配真空至低压工艺环境，通常为 0-1000 Torr。
  • 流量控制范围：根据型号不同适配不同流量区间，满足不同工艺的气体流量需求。
  • 阀体材质：采用耐腐蚀、高纯材质，如不锈钢、PTFE 等，避免污染气体。
  • 控制方式：电磁驱动或气动驱动，适配设备自动化控制需求。
• 功能特点
  • 精准的流量与通断控制，响应速度快，可快速切换气体通断状态并调节流量。
  • 密封性能优异，无气体泄漏，保障工艺环境的稳定性与安全性。
  • 耐化学腐蚀，适配多种腐蚀性工艺气体，使用寿命长。
  • 可与设备控制系统联动，实现基于工艺需求的自动流量调节。
• 应用场景：用于 AMAT Centura、Endura 等系列半导体设备的气路系统，适配化学气相沉积、刻蚀、清洗等工艺，精准控制工艺气体、吹扫气体等的流量与通断，保障晶圆制造工艺的稳定性与重复性。