• 产品名称：皮拉尼真空计组件。
• 产品简介：是应用材料（AMAT）生产的半导体设备专用皮拉尼真空计，基于热传导原理对真空环境压力进行精准测量，适配半导体工艺腔室、真空管路等部位，为设备真空系统提供实时压力数据，是保障真空工艺稳定性的关键检测部件。
• 技术规格
  • 测量压力范围：覆盖半导体工艺常用真空区间，通常为 10^-3 至 10^3 Torr。
  • 测量精度：误差控制在 ±5% 以内，满足半导体真空工艺的高精度检测需求。
  • 工作温度：适配半导体设备真空环境温度，一般为 - 10 至 80℃。
  • 输出信号：标准 4-20mA 电流信号或 0-10V 电压信号，适配设备控制系统接口。
  • 材质：传感器探头采用不锈钢材质，耐腐蚀且适配洁净真空环境。
• 功能特点
  • 基于热传导测量原理，响应速度快，能快速捕捉真空压力的动态变化。
  • 具备温度补偿功能，在不同环境温度下均能保持测量精度稳定。
  • 内置过载保护机制，防止因压力异常损坏传感器，延长使用寿命。
  • 安装方式灵活，适配设备不同真空部位的安装需求，密封性能优异。
• 应用场景：适用于 AMAT Centura、Endura 等系列半导体设备的工艺腔室、装载锁定腔室、真空输送管路等，用于刻蚀、沉积、离子注入等工艺的真空压力监测，保障晶圆制造过程中真空环境的稳定可控。