• 产品名称：腔室观察窗盖板组件。
• 产品简介：是 AMAT 半导体设备工艺腔室专用观察窗盖板，用于密封腔室观察窗口，保护腔室内部真空与工艺环境，同时允许操作人员或光学检测设备透过窗口观察腔室内部工艺状态，适配 200mm、300mm 等规格晶圆工艺设备的腔室结构。
• 技术规格
  • 适配窗口尺寸：对应 AMAT 设备腔室观察窗口标准尺寸，适配 200mm 或 300mm 晶圆工艺腔室。
  • 材质：窗口部分采用高透光、耐高压的硼硅玻璃或石英玻璃；盖板框架采用铝合金材质，表面经阳极氧化处理。
  • 密封标准：配备氟橡胶密封圈，密封压力适配真空环境，无泄漏风险。
  • 安装方式：采用螺栓紧固，安装孔位精准匹配腔室预留接口，拆装便捷。
• 功能特点
  • 高透光性，可清晰观察腔室内部晶圆状态与工艺过程，不影响光学检测设备的信号传输。
  • 密封性能优异，有效维持腔室真空度，防止工艺气体泄漏与外部杂质进入。
  • 耐高温、耐腐蚀，适配半导体工艺腔室的恶劣环境，不易老化损坏。
  • 结构坚固，能承受腔室压力变化带来的应力，保障使用安全。
• 应用场景：用于 AMAT 各类半导体刻蚀、沉积、CMP 等工艺设备的工艺腔室，适配逻辑芯片、存储芯片等晶圆制造过程中需要实时观察腔室内部状态的工艺环节，为工艺监控与设备维护提供便利。