• 产品名称：直流电源模块。
• 产品简介：是 AMAT 生产的半导体设备专用直流电源模块，用于为设备的等离子体电源、静电卡盘、加热系统、气体控制部件等提供稳定直流供电，具备高稳定性、低纹波特性，适配 AMAT 多款半导体工艺设备的电源系统，是保障设备电气系统稳定运行的核心部件。
• 技术规格
  • 输出电压范围：适配半导体设备部件供电需求，通常为 0-48V 直流电压。
  • 输出电流：根据设备负载不同，额定输出电流一般为 10-50A。
  • 纹波系数：控制在 0.1% 以内，保障供电稳定性，避免干扰工艺参数。
  • 保护功能：具备过流、过压、过热、短路等多重电气保护功能。
  • 工作效率：转换效率高达 90% 以上，降低能耗，减少发热。
• 功能特点
  • 输出电压与电流精度高，长期运行稳定性强，满足半导体工艺对电气参数的高精度要求。
  • 多重保护机制完善，能快速响应并切断异常电路，保护设备与人员安全。
  • 模块化设计，安装与维护便捷，可快速替换故障模块，减少设备停机时间。
  • 适配半导体设备的高温、高洁净环境，具备良好的抗电磁干扰能力。
• 应用场景：安装于 AMAT PVD、CVD、刻蚀等设备的主电源机架中，为真空腔体内加热系统、偏置电极、射频电源控制器、气体流量控制部件等供电，适配 Centura、Endura 等系列半导体设备，保障晶圆制造工艺的稳定进行。