• 产品名称：热电偶组件。
• 产品简介：是 AMAT 半导体设备专用热电偶组件，用于精准测量工艺腔室、加热部件、反应管路等部位的温度，将温度信号转化为电信号反馈给设备控制系统，实现温度的实时监测与闭环控制，适配半导体高温工艺环境，是保障工艺温度稳定性的关键测温部件。
• 技术规格
  • 热电偶类型：K 型或 J 型热电偶，适配半导体不同温度测量需求。
  • 测量温度范围：覆盖半导体工艺常用温度区间，一般为 0-1200℃。
  • 测量精度：误差在 ±1℃以内，满足高精度温度控制要求。
  • 响应时间：≤1 秒，可快速捕捉温度变化。
  • 探头材质：采用耐高温合金材质，耐腐蚀且适配真空环境。
• 功能特点
  • 测温精度高，响应速度快，能实时反馈温度数据，保障工艺温度精准控制。
  • 适配半导体设备的真空、高温、腐蚀性环境，使用寿命长。
  • 具备良好的抗振动与抗电磁干扰能力，在设备高速运行时仍能稳定工作。
  • 安装结构适配设备不同测温部位，密封性能好，不影响腔室真空度。
• 应用场景：广泛应用于 AMAT 各类半导体制造设备，如 CVD 沉积腔室、刻蚀腔室、加热盘、反应气体管路等，用于晶圆制造过程中沉积、刻蚀、退火等工艺的温度监测与控制，保障晶圆工艺质量的一致性。