• 产品名称：直动式电磁阀组件。
• 产品简介：是 AMAT 生产的半导体设备气路系统专用直动式电磁阀，用于精准控制半导体工艺中各类气体的通断，适配设备气路系统的低压、真空环境，具备响应速度快、密封性强的特点，适配 AMAT 多款半导体工艺设备，是保障气路系统自动化控制的关键部件。
• 技术规格
  • 适用气体类型：半导体工艺常用的惰性气体、反应性气体、腐蚀性气体等。
  • 工作压力范围：0-1000 Torr，适配半导体真空及低压工艺环境。
  • 阀体材质：采用 316L 不锈钢材质，密封件采用 PTFE 材质，耐腐蚀、无污染。
  • 工作电压：适配设备电气系统，通常为 24VDC 或 120VAC。
  • 响应时间：≤5ms，可快速实现气体通断切换。
• 功能特点
  • 直动式结构设计，无需先导气体，可在真空环境下稳定工作，通断控制精准。
  • 密封性能优异，无气体泄漏，保障工艺腔室真空度与工艺气体浓度稳定。
  • 响应速度快，能快速适配工艺气体切换需求，提升工艺效率。
  • 耐化学腐蚀，适配多种腐蚀性工艺气体，长期运行稳定性强。
  • 可与设备控制系统直接联动，实现基于工艺时序的自动通断控制。
• 应用场景：用于 AMAT Centura、Endura 等系列半导体刻蚀、沉积、清洗设备的气路系统，适配工艺气体输入、吹扫气体控制、尾气排放等环节，精准控制气体通断，保障晶圆制造工艺的稳定性与重复性。