• 产品名称：压力调节器组件。
• 产品简介：是 AMAT 半导体设备气路系统专用压力调节器，用于将工艺气体的输入压力精准调节至工艺所需压力值，适配半导体工艺常用的低压、真空环境，具备高调节精度、高稳定性特点，适配 AMAT 多款沉积、刻蚀等工艺设备，是保障工艺气体压力稳定的关键部件。
• 技术规格
  • 调节压力范围：0-100 Torr，适配半导体工艺低压气体供应需求。
  • 调节精度：压力调节误差≤±0.5%，满足工艺高精度压力控制要求。
  • 适用气体类型：适配惰性气体、反应性气体、腐蚀性气体等多种半导体工艺气体。
  • 材质：阀体采用 316L 不锈钢，阀芯采用耐腐蚀合金材质，密封性能优异。
  • 接口规格：采用 VCR 或 VCO 标准接口，适配半导体气路系统连接要求。
• 功能特点
  • 高精度压力调节，可将气体压力稳定控制在设定值，保障工艺气体流量与浓度稳定。
  • 具备压力过载保护功能，防止因输入压力异常损坏下游气路部件。
  • 响应速度快，能快速适应工艺压力调整需求，提升工艺调整效率。
  • 耐化学腐蚀，适配多种腐蚀性工艺气体，长期运行无泄漏、无性能衰减。
  • 结构设计适配半导体洁净环境，内部无死角，便于清洁维护。
• 应用场景：用于 AMAT 各类半导体工艺设备的气路系统，适配 CVD 沉积、刻蚀、离子注入等工艺的工艺气体供应环节，精准调节气体压力，保障晶圆制造过程中工艺参数的一致性与稳定性。