• 产品名称：联锁连接器延长组件。
• 产品简介：是 AMAT 300mm 规格半导体设备专用的安全联锁信号延长连接器，适配设备门盖、模块等关键部位的安全联锁系统，用于延长联锁信号传输距离，保障设备在操作、维护或模块拆装过程中，系统能精准识别部件状态并触发安全保护机制，适配 AMAT 5500 PVD 等系列设备的 300mm 预清洁模块，是保障设备与操作人员安全的核心连接部件。
• 技术规格
  • 信号传输距离：最大延长距离 10m，信号传输衰减≤0.1dB，保障联锁信号稳定传输。
  • 引脚数量：12-24 引脚，适配设备安全联锁系统的多信号传输需求。
  • 额定电流：每个引脚额定电流 2A，满足联锁信号传输的电流要求。
  • 工作电压：适配设备 24VDC 安全电压系统，绝缘电阻≥100MΩ，无漏电风险。
  • 插拔次数：额定插拔次数≥5000 次，具备优异的耐磨损性能，适配频繁维护的场景。
• 功能特点
  • 保障联锁信号稳定传输，确保设备控制系统精准识别门盖、模块等部件的安装或关闭状态。
  • 触发安全联锁逻辑，当联锁条件未满足时，立即阻止设备运行，防止人员受伤与设备损坏。
  • 抗电磁干扰能力强，适配半导体设备复杂的电磁环境，无信号传输错误或中断情况。
  • 适配半导体 Class 1 洁净环境，表面无颗粒脱落，满足晶圆制造的洁净要求。
  • 快速插拔设计，便于设备维护与模块更换，降低设备停机时间。
• 应用场景：用于 AMAT 300mm 规格半导体 PVD 沉积、刻蚀等设备的预清洁模块、工艺腔室门盖等部位，适配设备维护过程中的模块拆装、门盖开关等操作，保障设备在安全状态下运行，避免因操作不当导致的工艺异常或安全事故。