• 产品名称：气体输送管道组件（Gas Delivery Pipe Assembly）
• 产品简介：该组件是半导体制造设备中气体输送系统的关键部件，专门用于在真空与低压环境下，精准、安全地传输特种工艺气体，适配 AMAT 多款刻蚀、沉积设备的气体管路系统，保障气体传输无泄漏、无杂质污染。
• 技术规格
  • 材质：采用 316L 不锈钢，内壁经电化学抛光处理，粗糙度 Ra≤0.4μm
  • 管径：外径 6.35mm，内径 4.0mm，标准长度 500mm，可定制裁切
  • 工作压力：-0.1MPa~1.0MPa（绝对压力）
  • 工作温度：-20℃~120℃
  • 接口类型：VCR 金属面密封接头，适配 1/4 英寸管
  • 泄漏率：≤1×10⁻⁹atm・cc/s（氦气测试）
• 功能特点
  • 密封性能卓越，金属面密封设计彻底杜绝气体泄漏，适配腐蚀性与易燃易爆工艺气体
  • 低吸附、低析出材质特性，避免气体与管路反应产生杂质，保障晶圆加工纯度
  • 适配多种气体混合传输，具备良好的抗热胀冷缩性能，长期使用形变率低
  • 安装便捷，可快速与设备气体面板对接，支持在线维护更换
• 应用场景：广泛应用于 AMAT Centura 系列刻蚀机、PECVD 沉积设备的工艺气体输送回路，适用于半导体晶圆制造中硅刻蚀、金属沉积等工艺环节，尤其适配氟基、氯基等腐蚀性工艺气体的传输。