• 产品名称：数字 I/O 控制卡（Digital I/O Control Card）
• 产品简介：这是一款用于半导体设备的数字信号输入 / 输出控制板卡，集成于 AMAT 设备的 VME 或 PCIe 控制系统中，负责设备各执行机构（阀门、气缸、传感器等）的数字信号采集与指令输出，是设备动作控制的核心接口部件。
• 技术规格
  • 输入通道：16 路隔离式数字输入，支持 24VDC，响应时间≤10μs
  • 输出通道：16 路继电器输出，每路额定电流 2A，额定电压 250VAC/30VDC
  • 通信接口：VME 总线，传输速率 40MB/s，支持中断请求
  • 工作电压：+5VDC（±5%），功耗≤15W
  • 工作温度：0℃~40℃，存储温度：-40℃~85℃
  • 隔离等级：输入输出间隔离电压≥2500VAC
• 功能特点
  • 输入通道具备过压、过流保护，防止外部信号冲击损坏板卡
  • 输出继电器带触点状态反馈，可实时监测执行机构工作状态
  • 支持热插拔，更换时无需停机，提升设备稼动率
  • 兼容 AMAT 标准设备控制协议，可与设备主控制器无缝通信
• 应用场景：适配 AMAT Endura、Producer 等系列半导体沉积、刻蚀设备，用于控制工艺腔室的门阀开关、气体流量控制器启停、晶圆传输机械手臂定位信号采集等，是设备自动化控制的核心部件。