• 产品名称：电源分配模块（Power Distribution Module）
• 产品简介：该模块是 AMAT 设备的供电管理核心部件，用于将主电源分配至设备各子系统（控制电路、射频电源、加热模块等），具备过载、短路、过压保护功能，保障设备供电稳定与安全。
• 技术规格
  • 输入电压：三相 480VAC，50/60Hz，输入电流≤50A
  • 输出通道：8 路独立输出，其中 4 路 208VAC（每路额定电流 20A），4 路 24VDC（每路额定电流 10A）
  • 保护功能：具备过流、短路、过压、欠压保护，保护阈值可通过拨码设置
  • 冷却方式：强制风冷，风扇转速可调，工作噪音≤60dB
  • 尺寸：380mm×220mm×120mm，适配标准 19 英寸机柜安装
  • 防护等级：IP20，适配工业洁净环境
• 功能特点
  • 模块化设计，输出通道独立保护，某一通道故障不影响其他通道供电
  • 实时监测各输出通道电压、电流，数据可上传至设备主控制器，支持远程诊断
  • 具备电源冗余设计，可选配双路输入切换，提升供电连续性
  • 抗电磁干扰能力强，符合半导体设备 EMC 标准
• 应用场景：用于 AMAT Versys 系列 PECVD 设备、Siconi 清洗机的供电系统，为设备射频电源、加热电极、控制系统等关键部件分配稳定电力，适配半导体制造的洁净厂房环境。