• 产品名称：射频匹配网络控制板（RF Matching Network Control Board）
• 产品简介：该控制板用于 AMAT 射频匹配器的参数调节与状态监控，通过实时采集射频信号的频率、相位、功率数据，自动调节匹配网络的电容、电感参数，确保射频功率高效传输至工艺腔室，适配 13.56MHz、60MHz 等主流射频频段。
• 技术规格
  • 适配射频频率：13.56MHz、27.12MHz、60MHz，频率精度 ±0.01%
  • 功率适配范围：0~3000W，功率检测精度 ±1%
  • 控制接口：RS485 总线，通信速率 115200bps，支持 Modbus 协议
  • 工作电压：+12VDC、+5VDC，总功耗≤20W
  • 调节响应时间：≤50ms，匹配精度 VSWR≤1.1:1
  • 工作温度：-10℃~50℃
• 功能特点
  • 自动匹配算法先进，可快速响应工艺负载变化，维持射频功率稳定传输
  • 具备过功率、过温、失配保护功能，避免射频源与匹配器损坏
  • 支持参数本地存储与远程调用，适配多种工艺配方切换
  • 自带诊断界面，可通过设备 HMI 查看匹配状态、故障代码，便于维护
• 应用场景：搭配 AMAT Centura 刻蚀机、Producer 沉积设备的射频系统，用于硅刻蚀、氮化硅沉积等工艺中，保障射频能量高效耦合至等离子体，提升工艺均匀性与重复性。