• 产品名称：伺服电机驱动器（Servo Motor Driver）
• 产品简介：该驱动器用于驱动 AMAT 设备中的伺服电机，为晶圆传输机械手臂、腔室门阀等运动部件提供精准的速度与位置控制，支持多种控制模式，适配 AMAT 设备的伺服控制系统，保障运动部件的高定位精度与平稳运行。
• 技术规格
  • 适配电机类型：三相永磁同步伺服电机，功率范围 0.5kW-3kW
  • 控制模式：位置、速度、扭矩三种模式，支持脉冲指令输入
  • 位置分辨率：23 位编码器，定位精度 ±1 个脉冲
  • 输入电压：三相 208VAC，50/60Hz，输出电流≤15A
  • 通信接口：EtherCAT 总线，循环周期≤100μs
  • 保护功能：过流、过载、过压、欠压、过热、编码器故障保护
• 功能特点
  • 支持动态参数自整定，可根据电机负载自动优化控制参数
  • 具备电子齿轮与电子凸轮功能，适配复杂运动轨迹控制
  • 内置运动控制器，可独立执行简单运动程序，减轻主控制器负荷
  • 故障诊断功能完善，支持故障代码存储与远程查询
• 应用场景：适配 AMAT 晶圆传输系统（EFEM）的机械手臂、腔室门阀驱动机构，以及光刻设备的工作台定位系统，用于半导体晶圆制造中晶圆的精准传输与定位，保障生产效率与良率。