• 产品名称：加热电极电源（Heater Electrode Power Supply）
• 产品简介：该电源是 AMAT 工艺腔室加热电极的专用供电设备，采用高频开关电源技术，可精准输出可调直流电压与电流，为加热电极提供稳定功率，实现工艺腔室的快速升温与恒温控制，适配 200mm/300mm 晶圆制造设备。
• 技术规格
  • 输出功率：0-15kW 连续可调，输出电压 0-600VDC
  • 输出电流：0-25A，电流纹波≤0.5%
  • 控制精度：温度控制精度 ±1℃（配合热电偶闭环）
  • 升温速率：最大支持 50℃/min
  • 工作电压：三相 480VAC，50/60Hz，功率因数≥0.95
  • 通信接口：Modbus RTU，支持远程控制与数据读取
• 功能特点
  • 采用 PID + 模糊控制算法，恒温精度高，适配工艺腔室复杂温度曲线
  • 具备软启动功能，避免开机瞬间电流冲击损坏电极
  • 实时监测输出电压、电流、温度，异常时自动切断输出并报警
  • 兼容 AMAT 设备的工艺配方系统，可存储多组加热参数
• 应用场景：广泛应用于 AMAT PECVD、ALD 等沉积设备的工艺腔室加热系统，用于半导体晶圆制造中薄膜沉积工艺的温度控制，保障薄膜生长的均匀性与致密性。