• 产品名称：真空腔室门阀驱动控制器
• 产品简介：该控制器是 AMAT 真空系统的关键控制部件，专门用于驱动与控制真空腔室的门阀（如闸板阀、蝶阀），实现真空腔室的快速抽气、隔离与泄压，支持手动与自动两种控制模式，适配半导体设备真空系统的动态控制需求。
• 技术规格
  • 适配阀门类型：电磁真空闸板阀、气动蝶阀，适配口径 DN40-DN200
  • 控制方式：开关量控制，支持手动 / 自动切换
  • 反馈信号：2 路阀门位置反馈（开 / 关到位），1 路故障报警输出
  • 工作电压：24VDC，输出电流≤5A（电磁阀驱动）
  • 工作温度：0-40℃，防护等级 IP20
  • 通信接口：DeviceNet，支持设备主控制器远程控制
• 功能特点
  • 具备阀门开关超时保护，避免门阀卡滞导致真空系统异常。
  • 实时监测阀门工作电流与位置，故障时快速报警并记录故障代码。
  • 适配真空环境下的门阀动作控制，支持高真空与超高真空系统。
  • 安装便捷，可直接安装于门阀附近，减少信号传输延迟。
• 应用场景：广泛应用于 AMAT 半导体设备的真空排气系统、工艺腔室隔离系统，适配刻蚀、沉积、清洗等设备的真空门阀控制，保障真空系统的快速抽气、隔离与泄压，提升设备生产效率。