产品名称:晶圆传输机械手爪组件产品简介:真空晶圆传输系统末端执行部件,用于安全、稳定、无接触抓取与搬运晶圆。技术规格
- 负载:适配 8 英寸 / 12 英寸晶圆
- 材质:防静电工程材料 + 铝合金
- 重复定位精度:微米级
- 洁净等级:适用于 Class 100 洁净室功能特点
- 防静电设计,避免晶圆损伤
- 轻量化、高刚性,运动响应快
- 无颗粒、无油污,满足真空环境
- 兼容多型号传输机器人应用场景
- 半导体晶圆自动传输系统
- PVD、CVD、刻蚀设备腔间传输
- 清洗、涂胶、显影设备上下料
- 晶圆检测设备自动化搬运
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分类Amat
产品AMAT C190238
品牌AMAT
型号C190238
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