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AMAT C190238

2026-02-11 14:32 已有人浏览 小编

分类Amat

产品AMAT C190238

品牌AMAT

型号C190238

价格电议

质保一年

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详情介绍

产品名称:晶圆传输机械手爪组件
产品简介:真空晶圆传输系统末端执行部件,用于安全、稳定、无接触抓取与搬运晶圆。
技术规格
  • 负载:适配 8 英寸 / 12 英寸晶圆
  • 材质:防静电工程材料 + 铝合金
  • 重复定位精度:微米级
  • 洁净等级:适用于 Class 100 洁净室
    功能特点
  • 防静电设计,避免晶圆损伤
  • 轻量化、高刚性,运动响应快
  • 无颗粒、无油污,满足真空环境
  • 兼容多型号传输机器人
    应用场景
  • 半导体晶圆自动传输系统
  • PVD、CVD、刻蚀设备腔间传输
  • 清洗、涂胶、显影设备上下料
  • 晶圆检测设备自动化搬运