产品名称:真空腔室节流阀总成产品简介:用于半导体真空系统的高精度气体流量控制阀门,实现腔室压力稳定调节。技术规格
- 密封形式:面密封,高真空适配
- 连接口径:KF40 标准接口
- 调节范围:连续可调流量控制
- 工作环境:高真空、腐蚀性工艺气体功能特点
- 密封可靠,无泄漏
- 调节线性度好,压力控制稳定
- 耐腐蚀,适配多种工艺气体
- 响应快,支持自动闭环控制应用场景
- 半导体工艺腔室压力控制
- 真空排气系统流量调节
- 沉积、刻蚀、离子注入设备
- 真空管路系统稳压
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分类Amat
产品AMAT 0010-47882
品牌AMAT
型号0010-47882
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