产品名称：工艺腔室下屏蔽罩产品简介：金属材质腔室防护部件，用于屏蔽电场、保护腔体内衬、均匀化等离子体分布。技术规格
- 材质：高纯钛 / 铝合金
- 表面：阳极氧化 / 钝化处理
- 精度：配合腔室尺寸公差
- 适配：Endura 系列 PVD 设备功能特点
- 高纯度、低金属污染
- 耐高温、耐等离子体轰击
- 安装定位精准，无松动
- 延长腔室维护周期应用场景
- 物理气相沉积（PVD）腔室
- 金属布线、阻挡层沉积工艺
- 半导体前道镀膜设备
- 设备预防性维护更换
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AMAT 0021-70220
2026-02-11 14:32 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0021-70220
品牌AMAT
型号0021-70220
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