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AMAT 0020-85925

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分类Amat

产品AMAT 0020-85925

品牌AMAT

型号0020-85925

价格电议

质保一年

电话 15359273790

详情介绍

产品名称：腔室陶瓷内衬组件

产品简介：高纯度陶瓷腔室保护部件，用于隔离等离子体与金属腔壁，降低污染、提升工艺稳定性。

技术规格

材质：高纯度氧化铝 / 氮化铝陶瓷
结构：一体式成型
特性：高绝缘、高耐热冲击
洁净度：无杂质、无析出
功能特点
耐等离子体腐蚀，寿命长
不产生微颗粒，保证良率
电绝缘，防止异常放电
与原厂尺寸完全互换
应用场景
干法刻蚀腔室
高密度等离子体工艺设备
先进逻辑与存储芯片制程
腔室核心易损件更换

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