产品名称：气路面板总成产品简介：半导体设备气体分配控制模块，集成多路气体通道、阀门接口与传感器安装位。技术规格
- 通道数：多路气体管路集成
- 材质：316L 不锈钢 / 高纯 PFA
- 密封：VCR/VCO 面密封
- 耐压：满足工艺气体输送要求功能特点
- 流道设计合理，压降小
- 无死角、易吹扫、低残留
- 耐腐蚀，适配剧毒 / 腐蚀性气体
- 标准化接口，便于维护应用场景
- 半导体工艺气体输送系统
- CVD、ALD、刻蚀气体控制
- 高纯特种气体分配
- 设备气路维护升级
产品中心
- ABB
- Allen-Bradley
- GE
- Schneider
- Yaskawa
- Bosch Rexroth
- Bently
- Triconex
- Honeywell
- Woodward
- Kuka
- NI
- Hima
- Yokogawa
- Emerson
- Motorola
- E+H
- Nvidia
- 储能产品
- Moog
- Kollmorgen
- Toshiba
- Metso
- Hitachi
- Xycom
- Sew
- Tektronix
- Omron
- Alstom
- Pacific
- Lam
- Mtl
- 其它品牌
- Siemens
- Amat
- Deif
- Agilent
- Elau
- Extreme Networks
全国服务热线
15359273790
技术过硬，据实报价
AMAT 0040-09312
2026-02-11 14:33 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0040-09312
品牌AMAT
型号0040-09312
价格电议
质保一年
电话 15359273790
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 