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AMAT 0040-38858

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分类Amat

产品AMAT 0040-38858

品牌AMAT

型号0040-38858

价格电议

质保一年

电话 15359273790

详情介绍

产品名称：静电卡盘（ESC）组件

产品简介：晶圆静电吸附装置，用于晶圆非机械夹持、精准温控与工艺均匀性保障。

技术规格

类型：双区独立控温 / 控压
适配：300mm 晶圆
吸附方式：库仑力 / 约翰森–拉别克力
温控范围：宽范围精密温控
功能特点
夹持稳定，无晶圆滑移
温控均匀，提升工艺一致性
低磨损、长寿命
快速充放电，提升产能
应用场景
高端刻蚀工艺腔
沉积工艺晶圆夹持
先进制程半导体制造
高精度温控工艺环节

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