产品名称：射频电源匹配网络控制器产品简介：用于等离子体设备的射频功率自动匹配单元，保证射频能量高效耦合进工艺腔。技术规格
- 适配频率：13.56MHz / 2MHz 低频偏置
- 控制方式：自动调谐、快速匹配
- 通信接口：设备总线控制
- 功率范围：适配中高功率等离子源功能特点
- 匹配速度快，提升工艺稳定性
- 反射功率低，能源利用率高
- 抗干扰强，适应复杂工艺环境
- 自带故障诊断与保护应用场景
- 等离子体刻蚀设备
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- 设备升级与故障替换
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AMAT 0190-24298
2026-02-11 14:38 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0190-24298
品牌AMAT
型号0190-24298
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