产品名称：高真空角阀执行器总成产品简介：半导体真空系统角阀的专用驱动执行单元，为真空角阀提供精准动力输出，实现阀门快速、稳定的开关控制，保障真空系统通断可靠性。技术规格
- 驱动类型：气动 / 电动双模式，适配不同真空系统
- 响应时间：阀门开关响应≤50ms，动作精准
- 驱动力：输出扭矩稳定，适配大口径真空角阀
- 防护等级：IP65，适配高洁净、腐蚀性环境
- 接口类型：标准电气 / 气动接口，安装便捷功能特点
- 阀门开关无卡顿、无泄漏，密封可靠
- 具备过载保护，避免阀门与执行器损坏
- 支持状态反馈，实时监测阀门开关位置
- 抗干扰能力强，适配复杂工业环境
- 模块化设计，便于维护与故障排查应用场景
- 半导体工艺腔室真空角阀驱动控制
- 真空排气系统、传输腔阀门控制
- 沉积、刻蚀、清洗设备真空系统
- 晶圆厂真空管路系统维护更换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 