产品名称：射频信号放大驱动模块产品简介：半导体射频等离子体设备的信号驱动部件，负责将射频控制信号放大并传输至射频电源与匹配网络，保障射频系统信号传输稳定、无失真，提升工艺稳定性。技术规格
- 适配频率：13.56MHz/2MHz 标准射频频率
- 放大增益：可调增益，适配不同射频系统
- 输出功率：≥50W，满足射频驱动需求
- 信号类型：兼容模拟 / 数字射频控制信号
- 工作环境：温度 0–50℃，湿度≤85% RH，无凝露功能特点
- 信号放大线性度好，输出无失真、无杂波
- 增益调节精准，适配不同射频负载
- 抗射频干扰能力强，信号传输稳定
- 具备过流、过热保护，保障模块安全
- 与原厂射频系统完全兼容，替换便捷应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 设备射频信号驱动
- 半导体射频电源与匹配网络控制
- 先进制程半导体制造工艺射频保障
- 设备射频系统维护与故障替换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 