产品名称：设备电源滤波模块产品简介：半导体设备电源系统的净化部件，用于滤除电源中的谐波、噪声与干扰信号，为设备各子系统提供纯净、稳定的电源，保障设备控制精度与运行可靠性。技术规格
- 输入电压：三相 380VAC / 单相 220VAC，宽范围适配
- 滤波频率：覆盖工频至高频全频段干扰
- 滤波效果：电源纹波抑制≥90%，输出纯净
- 防护等级：IP54，适配工业级设备环境
- 保护功能：过压、过流、短路保护功能特点
- 电源滤波效果优异，输出电压稳定无波动
- 有效抑制电磁干扰，提升设备控制精度
- 保护功能完善，保障设备电源系统安全
- 抗干扰能力强，适配复杂工业电磁环境
- 模块化设计，安装、维护便捷应用场景
- 半导体工艺设备整机电源净化
- 伺服、射频、控制模块电源滤波
- 晶圆厂自动化设备电源系统
- 设备电气系统升级与预防性维护
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 