产品名称：工艺腔室温度采集模块产品简介：半导体工艺腔室的高精度温度监测部件，实时采集腔室、加热器、晶圆承载台等关键部位温度，为工艺温度控制提供精准反馈，保障工艺温度稳定性。技术规格
- 测温范围：-50℃–800℃，适配高温工艺场景
- 测温精度：±0.1℃，长期稳定性优异
- 传感器类型：兼容热电偶、热电阻等多种类型
- 通道数量：多路温度采集通道，同步监测多点温度
- 输出信号：模拟 / 数字双输出，适配设备控制系统功能特点
- 温度采集精准，响应速度快，实时捕捉温度变化
- 多通道同步采集，满足多点温度监测需求
- 具备信号滤波与校准功能，数据无漂移
- 抗干扰能力强，适配复杂工业电磁环境
- 故障自诊断，异常状态自动报警应用场景
- 半导体工艺腔室、加热器温度实时监测
- 晶圆承载台、工艺气体管路温度监控
- 沉积、刻蚀、退火工艺温度闭环控制
- 设备温度系统维护与故障诊断
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0190-36349 