产品名称：真空腔室密封组件产品简介：半导体真空腔室的专用密封部件，采用高弹性、高洁净材质，用于腔室门、观察窗、管路接口等部位的密封，保障真空腔室无泄漏，维持高真空环境。技术规格
- 材质：氟橡胶 / 全氟醚橡胶，耐温、耐腐蚀
- 适配尺寸：适配 300mm 晶圆标准工艺腔室
- 密封压力：耐受≥10⁻⁷Pa 高真空环境
- 洁净等级：Class 100 洁净室适用，无释气
- 使用寿命：≥1000 次开关循环，耐用性强功能特点
- 密封性能优异，长期使用无真空泄漏
- 耐温范围广，适配 - 40℃–200℃环境
- 耐腐蚀，适配多种工艺气体环境
- 低释气、无颗粒污染，保障高洁净工艺
- 安装定位精准，与原厂腔室完全匹配应用场景
- 半导体工艺腔室门、观察窗密封
- 真空管路、阀门接口密封
- 沉积、刻蚀、传输设备真空密封
- 设备预防性维护与密封件更换
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 