产品名称：伺服运动控制接口板卡产品简介：半导体自动化设备伺服系统的专用信号交互板卡，负责伺服控制器与设备主控系统间的指令传输、状态反馈与数据交互，保障伺服运动系统精准、稳定运行，是晶圆传输、定位机构的核心控制接口部件。技术规格
- 通信接口：EtherCAT/Profinet 高速实时总线，通信速率≥100Mbps
- 控制通道：支持 4 轴伺服电机同步控制，兼容脉冲 / 总线双模式
- 输入信号：24VDC 数字量输入，兼容 NPN/PNP 传感器信号
- 输出信号：多路伺服使能、报警、限位控制信号输出
- 工作环境：温度 - 10℃–60℃，湿度 5%–90% RH（无凝露）功能特点
- 通信实时性强，指令传输延迟≤1ms，保障运动控制精度
- 多轴同步控制，运动轨迹平滑无抖动，重复定位精度≤±0.01mm
- 具备信号隔离与抗干扰设计，适配复杂工业电磁环境
- 支持伺服参数在线读取与配置，调试便捷
- 故障诊断功能完善，实时反馈伺服异常状态并报警应用场景
- 半导体晶圆传输机器人伺服控制接口
- 工艺腔室晶圆升降、旋转定位机构控制
- 晶圆检测、清洗设备自动化伺服系统
- 先进制程半导体生产线运动控制单元
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 