产品名称：真空腔室观察窗组件产品简介：半导体真空工艺腔室的可视化观测部件，采用高透光、耐真空、耐腐蚀材质，用于腔室内部工艺过程实时观测，同时保障腔室真空密封与洁净环境，是工艺监控与故障排查的关键部件。技术规格
- 材质：高纯度石英玻璃 / 硼硅玻璃，透光率≥95%
- 耐压性能：耐受≥10⁻⁷Pa 高真空环境，无变形、无泄漏
- 密封结构：氟橡胶 O 型圈密封，适配 300mm 晶圆标准腔室
- 尺寸规格：观察窗直径 150mm，厚度 20mm，满足观测视野需求
- 洁净等级：Class 100 洁净室适用，无颗粒析出、无释气功能特点
- 透光性能优异，清晰观测腔室内部工艺状态
- 真空密封可靠，长期使用无泄漏风险
- 耐温、耐腐蚀，适配等离子体、腐蚀性工艺气体环境
- 安装定位精准，与原厂腔室观察窗接口完全匹配
- 易清洁、易维护，降低工艺污染风险应用场景
- 半导体刻蚀、沉积工艺腔室内部观测
- 真空传输腔、预抽腔工艺过程监控
- 设备故障排查与工艺参数优化
- 晶圆厂真空设备预防性维护
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 