产品名称：工艺气体质量流量控制模块产品简介：半导体工艺气体输送系统的高精度流量控制部件，集成流量传感器与调节阀门，精准控制工艺气体流量，保障气体输送稳定、均匀，是 CVD、ALD、刻蚀等工艺气路的核心控制单元。技术规格
- 流量范围：0–5000sccm，适配多种工艺气体流量需求
- 控制精度：流量控制误差≤±0.5% FS，长期稳定性优异
- 响应时间：流量调节响应≤100ms，快速稳定
- 材质：316L 不锈钢 / 高纯 PFA，耐腐蚀、无颗粒污染
- 通信接口：RS485/Modbus，支持远程流量监控与调节功能特点
- 流量控制精准，输出稳定无波动，保障工艺一致性
- 响应速度快，适应工艺气体流量快速变化需求
- 耐腐蚀，适配 SiH₄、NH₃、CF₄等多种腐蚀性工艺气体
- 具备流量校准与故障诊断功能，异常状态自动报警
- 模块化设计，安装便捷，与原厂气路系统完全兼容应用场景
- 半导体 CVD、ALD、刻蚀工艺气体流量控制
- 高纯特种气体（如 H₂、Ar、N₂）输送系统
- 晶圆厂工艺气体集中供应与分配
- 设备气路系统升级与预防性维护
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 