产品名称：真空系统角阀控制模块产品简介：半导体真空系统角阀的专用控制单元，负责角阀开关指令输出、状态反馈与故障监测，实现真空角阀快速、精准控制，保障真空系统通断可靠性，是真空管路与腔室的核心控制部件。技术规格
- 控制通道：多路角阀独立控制，支持气动 / 电动角阀
- 输出信号：24VDC 驱动信号，适配主流角阀执行器
- 反馈输入：角阀开关位置、故障状态信号采集
- 通信接口：RS232/DeviceNet，支持远程控制与监控
- 保护功能：过流、短路、过载多重保护，保障模块安全功能特点
- 角阀开关响应迅速，动作时间≤50ms，控制精准
- 实时监测角阀状态，异常时自动报警并切断输出
- 信号隔离可靠，避免系统间干扰，运行稳定
- 支持手动 / 自动双模式控制，适配不同操作场景
- 模块化设计，安装、维护便捷，与原厂真空系统兼容应用场景
- 半导体工艺腔室真空角阀控制
- 真空排气系统、传输腔角阀开关控制
- 沉积、刻蚀、清洗设备真空管路控制
- 晶圆厂真空系统维护与故障排查
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 