产品名称：设备主控通信接口模块产品简介：半导体设备控制系统的通信枢纽部件，负责设备主控单元与各子系统（伺服、射频、真空、气路等）间的数据传输与指令交互，保障设备各系统协同运行，是设备自动化控制的核心通信单元。技术规格
- 通信协议：支持 EtherNet/IP、Profinet、Modbus 等多协议
- 接口类型：以太网、RS485、光纤等多类型接口
- 传输速率：以太网速率 100Mbps，光纤速率 1Gbps
- 数据缓存：大容量数据缓存，保障数据传输无丢失
- 工作环境：温度 - 10℃–60℃，湿度 5%–90% RH（无凝露）功能特点
- 多协议兼容，适配不同子系统通信需求，扩展性强
- 数据传输高速、稳定，无延迟、无丢包，保障控制实时性
- 具备数据校验与纠错功能，传输可靠性高
- 支持热插拔，维护便捷，不影响设备正常运行
- 故障自诊断，通信异常时自动报警，便于快速排查应用场景
- 半导体工艺设备整机系统通信控制
- 刻蚀、沉积、传输设备主控与子系统数据交互
- 晶圆厂自动化设备联网与远程监控
- 设备控制系统升级与通信优化
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 