产品名称：射频电源控制驱动模块产品简介：半导体射频等离子体设备的核心控制部件，负责射频电源的功率调节、频率匹配与状态监测，保障射频能量高效、稳定传输至工艺腔室，提升等离子体工艺均匀性与稳定性。技术规格
- 适配频率：13.56MHz/2MHz 标准射频频率
- 功率控制：0–5kW 连续可调，控制精度≤±1%
- 匹配调节：自动阻抗匹配，响应时间≤10ms
- 通信接口：支持设备总线，实现远程功率监控与调节
- 保护功能：过压、过流、反射功率多重保护功能特点
- 功率调节精准，射频能量传输效率≥95%
- 阻抗匹配快速，适应工艺负载动态变化
- 反射功率保护灵敏，异常时快速切断射频输出
- 抗射频干扰能力强，运行稳定无漂移
- 集成度高，简化射频系统布线与调试应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD 设备射频电源控制
- 半导体射频等离子体工艺系统核心部件
- 先进制程半导体制造工艺
- 设备射频系统升级与故障替换
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 