产品名称：AMAT 0050-47458-001 气体管路组件（Gas Line Assembly）产品简介：半导体设备专用高纯气体输送管路，用于连接气体柜与工艺腔体，保障特种气体的洁净、稳定输送，适配 300mm 晶圆制程。技术规格
- 管路材质：316L EP 级不锈钢，内壁电解抛光，粗糙度 Ra≤0.2μm
- 规格：1/4" OD，长度 1.5m，两端 VCR 接头
- 洁净度：Class 10 级无尘室组装，颗粒度≤0.1μm
- 耐压：工作压力 20bar，测试压力 30bar
- 适配气体：SiH₄、NH₃、NF₃、Ar 等半导体工艺特种气体功能特点
- 超高洁净：EP 级内壁 + 无尘组装，避免气体污染，保障晶圆良率
- 无泄漏：VCR 金属面密封，漏率≤1×10⁻¹⁰ Torr・L/s
- 耐腐蚀：316L 材质耐受各类腐蚀性工艺气体
- 标准化：统一规格与接头，适配 AMAT 主流设备气体系统应用场景：半导体工艺气体输送、特种气体分配系统、晶圆沉积 / 刻蚀设备气体管路、CMP 设备化学试剂输
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 