产品名称：AMAT 0270-20296 射频匹配网络组件（RF Match Network）产品简介：半导体等离子体设备专用射频匹配单元，用于实现射频电源与等离子体负载的阻抗匹配，提升射频能量传输效率，稳定等离子体状态。技术规格
- 频率：13.56MHz，兼容 2MHz/27MHz 射频电源
- 功率范围：500W~5kW，匹配精度≤1%
- 调节方式：自动电动调节，调谐时间 < 100ms
- 通信接口：Analog I/O、DeviceNet，支持 AMAT 设备控制协议
- 冷却方式：强制风冷，工作温度 0~45℃功能特点
- 自动匹配：实时监测负载阻抗，自动调节电容 / 电感，保障能量高效传输
- 宽功率适配：覆盖低功率清洗到高功率刻蚀的全工艺场景
- 高稳定性：抗等离子体干扰，匹配状态稳定，减少工艺波动
- 故障保护：支持过功率、过温、失配自动保护，延长设备寿命应用场景：半导体干法刻蚀设备、PECVD 设备、射频等离子体清洗设备、晶圆表面处理设备。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 