产品名称：AMAT 0200-01371 陶瓷绝缘环（Ceramic Insulator Ring）产品简介：半导体腔体电极与基座间的绝缘组件，用于高压绝缘、热隔离与等离子体约束，保障腔体电气安全与工艺稳定性。技术规格
- 材质：高纯氮化硼（BN）陶瓷，绝缘电阻≥10¹⁴Ω・cm
- 尺寸：外径 250mm，内径 200mm，厚度 10mm，平面度≤0.01mm
- 耐温：最高工作温度 1200℃，热导率≥30W/m・K
- 耐压：交流耐压≥10kV，直流耐压≥15kV功能特点
- 高压绝缘：优异绝缘性能，保障腔体电极与基座间的电气隔离
- 热稳定：耐高温、抗热冲击，适配高温等离子体工艺
- 低介电损耗：减少射频能量损耗，提升等离子体激发效率
- 耐等离子体：耐受氟基、氧基等离子体冲刷，使用寿命长应用场景：半导体刻蚀腔体电极绝缘、射频等离子体设备、晶圆沉积设备电极隔离、高压半导体制程设备绝缘。
AMAT 0040-42913 
AMAT 0190-09378 
AMAT 0021-14344 
AMAT 0010-35350 