产品名称：AMAT 30712650200 晶圆承载基座（Wafer Pedestal）产品简介：半导体设备晶圆静电承载（ESC）基座，用于晶圆的吸附、固定与温度控制，是晶圆制程的核心承载部件，适配 300mm 晶圆。技术规格
- 类型：双区静电卡盘（ESC），支持晶圆静电吸附
- 材质：氧化铝陶瓷基底，表面喷涂氮化铝（AlN）导热层
- 温控范围：室温～400℃，控温精度 ±0.5℃
- 吸附力：≥50N，支持氦气背冷，热传导效率≥100W/m・K
- 适配：300mm 晶圆，Notch 定位，HVIB 高真空兼容功能特点
- 精准温控：双区独立控温，保障晶圆温度均匀性，提升工艺一致性
- 稳定吸附：静电吸附无机械应力，避免晶圆损伤，适配超薄晶圆
- 高效导热：氮化铝涂层 + 氦气背冷，快速传导工艺热量
- 高真空兼容：适配超高真空环境，无挥发杂质，保障晶圆洁净度应用场景：半导体 PVD、CVD、刻蚀设备晶圆承载、晶圆退火设备、离子注入设备晶圆固定。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 