产品名称：腔体观察窗组件产品简介：超高真空工艺腔体光学观察窗，集成密封结构与光学镜片，用于制程实时监控与腔体状态观测。技术规格
- 镜片材质：合成石英，紫外 - 红外高透过率
- 镜片直径：80mm，厚度 10mm
- 密封形式：金属 C 型环密封，真空漏率≤1×10⁻⁹ Torr・L/s
- 工作真空：≤1×10⁻⁸ Torr
- 耐温：-20℃～300℃功能特点
- 高透光率，支持光学监控与内窥检测
- 超高真空密封，满足半导体制程严苛要求
- 抗热冲击，适应腔体快速升降温
- 模块化结构，便于维护与更换应用场景
- 刻蚀、沉积、离子注入设备腔体观察
- 超高真空半导体工艺设备
- 晶圆制程实时光学监控系统
AMAT 1037-60969 
AMAT 0050-37273 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 