产品名称：气体质量流量控制器（MFC）密封组件产品简介：半导体工艺气体 MFC 专用高精度密封组件，用于 MFC 阀体与管路的密封连接，保障特种气体无泄漏、无污染输送，适配 AMAT 标准 MFC 系统。技术规格
- 密封材质：Kalrez 4079 全氟醚橡胶，金属 VCR 面密封
- 规格：1/4" VCR 接头，适配 316L EP 不锈钢管路
- 漏率：≤1×10⁻¹⁰ Torr・L/s，满足超高纯气体要求
- 耐温：-40℃~200℃，耐压 0~20bar
- 适配气体：SiH₄、NH₃、NF₃、Ar、H₂等半导体工艺特种气体功能特点
- 零泄漏密封：全氟醚橡胶 + 金属面密封，双重保障无气体泄漏
- 超高洁净：低挥发、低颗粒，避免气体污染，保障晶圆良率
- 耐腐蚀：耐受各类腐蚀性工艺气体，使用寿命≥2 年
- 易安装：标准化 VCR 接头，无需工具，密封可靠
- 长期稳定：抗老化、抗压缩永久变形，无需频繁更换应用场景：半导体工艺气体 MFC 密封、特种气体输送系统、刻蚀 / CVD 设备气体控制单元、超高纯气体分配系统。
AMAT 1037-60969 
AMAT 0050-37273 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 