产品名称：工艺过程控制逻辑模块产品简介：半导体设备核心控制逻辑单元，用于工艺参数的实时采集、逻辑运算、输出控制与故障诊断，是设备自动化运行的核心大脑，适配 AMAT 全系列设备。技术规格
- 处理器：32 位工业级处理器，主频 1GHz，内存 512MB
- I/O 接口：32 路数字 I/O、16 路模拟量输入（0~10V/4~20mA）、8 路模拟量输出
- 通信接口：以太网、DeviceNet、Profibus，支持 AMAT SECS/GEM 协议
- 控制周期：≤1ms，响应延迟 < 5ms
- 工作环境：温度 - 10℃~60℃，湿度 5%~95% 非冷凝，工业级 EMC 防护功能特点
- 实时控制：微秒级控制周期，保障工艺参数精准稳定
- 多任务处理：并行处理多通道参数采集与控制，适配复杂制程
- 故障诊断：内置自诊断功能，实时监测模块状态，快速定位故障
- 远程监控：支持以太网通信，实现远程工艺监控与参数调整
- 高可靠：硬件看门狗、冗余设计，无故障运行时间≥10 万小时应用场景：半导体刻蚀 / 沉积设备主控、CMP 设备过程控制、真空系统逻辑控制、半导体自动化产线核心控制单元。
AMAT 1037-60969 
AMAT 0050-37273 
AMAT 0140-01620 