产品名称：高纯工艺气体管路总成产品简介：半导体设备专用超高纯气体输送管路总成，集成管路、接头、过滤器、阀门，用于特种工艺气体的洁净、稳定、无泄漏输送，适配 300mm 晶圆制程。技术规格
- 管路材质：316L EP 级不锈钢，内壁电解抛光，粗糙度 Ra≤0.2μm
- 规格：1/4" OD，长度 2m，两端 VCR 接头，集成 0.003μm 过滤器
- 洁净度：Class 10 级无尘室组装，颗粒度≤0.1μm，无油、无脂
- 耐压：工作压力 15bar，测试压力 22.5bar，漏率≤1×10⁻¹⁰ Torr・L/s
- 适配气体：SiH₄、PH₃、B₂H₆、NF₃、Ar 等半导体工艺特种气体功能特点
- 超高洁净：EP 级内壁 + 无尘组装 + 精密过滤，彻底杜绝气体污染
- 无泄漏：VCR 金属面密封 + 整体检漏，保障气体输送零泄漏
- 耐腐蚀：316L 材质耐受各类腐蚀性工艺气体，使用寿命长
- 集成化：集成过滤器、接头、阀门，减少安装节点，提升可靠性
- 标准化：统一规格，适配 AMAT 主流设备气体系统，互换性强应用场景：半导体工艺气体输送、特种气体分配系统、刻蚀 / CVD/ALD 设备气体管路、晶圆清洗设备化学试剂输送。
AMAT 1037-60969 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 