产品名称：真空腔体密封 O 型圈组件产品简介：半导体超高真空腔体专用密封 O 型圈，用于腔体法兰、观察窗、电极等部位的密封，保障腔体真空度与工艺稳定性，适配 AMAT 标准腔体。技术规格
- 材质：Kalrez 8575 全氟醚橡胶，符合 SEMIF 标准
- 规格：AS-568A-214，内径 54.8mm，线径 3.53mm
- 真空漏率：≤1×10⁻¹¹ Torr・L/s，满足超高真空要求
- 耐温：-50℃~260℃，长期工作温度 220℃
- 耐压：真空至 10bar，适配动态与静态密封功能特点
- 超高真空密封：全氟醚橡胶材质，极低漏率，保障腔体高真空
- 耐化学腐蚀：耐受所有半导体工艺气体与化学品，无溶胀、无老化
- 长期稳定：抗压缩永久变形，使用寿命≥1 年，无需频繁更换
- 易安装：标准化尺寸，适配 AMAT 腔体法兰，密封可靠
- 洁净环保：低挥发、低颗粒，满足半导体无尘室洁净要求应用场景：半导体刻蚀 / 沉积腔体法兰密封、真空观察窗密封、电极与腔体绝缘密封、超高真空半导体制程设备全系列密封。
AMAT 0050-37273 
AMAT 0010-01231 
AMAT 0140-01620 