产品名称：Precision 5000 系列 CVD 设备主控模块产品简介：应用材料 Precision 5000 系列化学气相沉积（CVD）设备的核心控制模块，负责工艺参数实时采集、逻辑运算、输出控制与故障诊断，是设备自动化运行的核心单元。技术规格
- 处理器：32 位工业级处理器，主频 1GHz，内存 512MB
- I/O 接口：32 路数字 I/O、16 路模拟量输入（0–10V/4–20mA）、8 路模拟量输出
- 通信接口：以太网、DeviceNet、Profibus，支持 AMAT SECS/GEM 协议
- 控制周期：≤1ms，响应延迟 < 5ms
- 工作环境：温度 - 10℃–60℃，湿度 5%–95% 非冷凝，工业级 EMC 防护
- 存储：内置 128MB Flash，支持工艺配方存储与历史数据记录功能特点
- 实时控制：微秒级控制周期，保障工艺参数精准稳定
- 多任务处理：并行处理多通道参数采集与控制，适配复杂 CVD 制程
- 故障诊断：内置自诊断功能，实时监测模块状态，快速定位故障
- 远程监控：支持以太网通信，实现远程工艺监控与参数调整
- 高可靠：硬件看门狗、冗余设计，无故障运行时间≥10 万小时
- 配方管理：支持多工艺配方存储、调用与编辑，适配多种薄膜沉积工艺应用场景：Precision 5000 系列 CVD 设备主控、SiO₂、Si₃N₄、TiN 等薄膜沉积控制、200mm 晶圆主流制程 CVD 工艺、半导体逻辑芯片、功率器件制造。
AMAT 0190-25291 
AMAT 1410-01366 
AMAT 0040-01849 
AMAT 0021-36302 