产品名称：Chemraz 全氟醚 O 型密封圈产品简介：采用 Chemraz 全氟醚弹性体材质制造的超高纯密封圈，用于半导体强腐蚀工艺介质密封。技术规格
- 材质：Chemraz SC520 全氟醚橡胶
- 硬度：90 Shore A
- 适用内径：标准制程口径
- 线径规格：标准真空密封线径
- 耐温范围：-40℃～300℃功能特点
- 耐受强酸、强碱、强氧化剂等工艺气体
- 超高洁净度，无析出、无颗粒污染
- 耐等离子体与辐射老化
- 符合半导体 FAB 真空密封标准应用场景：刻蚀机气体管路密封、工艺腔体真空密封、化学输送系统阀件密封、气相沉积设备介质接口密封。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-08347 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 