产品名称：晶圆传输腔室密封门组件简介：半导体晶圆传输腔室专用密封门，实现真空腔室与大气环境的隔离与快速切换，保障传输过程真空稳定与晶圆洁净。技术规格
- 材质：6061-T6 铝合金 + 不锈钢框架
- 密封形式：全氟醚 O 型圈 + 金属面密封
- 适用真空度：≤10⁻⁷Torr
- 开关方式：气动驱动
- 循环寿命：≥100 万次
- 适配腔体：200mm/300mm 晶圆传输腔功能特点
- 密封性能优异，零泄漏，真空保持稳定
- 开关快速，响应时间≤1s，提升传输效率
- 结构坚固，抗变形，重复定位精度高
- 低维护、长寿命，降低设备停机时间应用场景：Centura/Endura 集群设备传输腔、晶圆真空传输系统、刻蚀 / 沉积设备真空隔离门、半导体厂自动化晶圆传输线。
AMAT 0200-09761 
AMAT 0200-00262 
AMAT 0190-36349 