产品名称：晶圆传输腔室真空隔离门阀组件产品简介：半导体晶圆传输系统专用高真空隔离门阀，实现真空腔室与传输通道的快速隔离与连通，保障晶圆传输过程真空环境稳定，适配 200mm/300mm 晶圆制程设备。技术规格
- 阀体材质：6061-T6 铝合金 + 316L 不锈钢密封面
- 密封形式：全氟醚 O 型圈 + 金属刀口密封双重结构
- 适用真空度：≤10⁻⁹Torr
- 驱动方式：气动执行器（双作用）
- 开关响应时间：≤800ms
- 循环寿命：≥1,000,000 次
- 适配腔体：Centura/Endura 系列传输腔、真空机械手腔功能特点
- 超高真空密封性能，零泄漏，真空保持稳定
- 开关动作快速平稳，无冲击，延长密封件寿命
- 结构紧凑，安装定位精准，重复拆装一致性好
- 内置位置反馈传感器，支持远程状态监控
- 耐化学腐蚀，适配多种工艺气体环境应用场景：半导体集群设备真空隔离、晶圆真空传输系统、刻蚀 / 沉积设备传输腔隔离、真空机械手与工艺腔连接、半导体厂自动化晶圆传输线。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 