产品名称：高精度真空压力传感器模块产品简介：半导体真空系统专用高精度压力传感模块，集成皮拉尼与电容式薄膜真空计，实现从大气压到超高真空的全量程精准测量，为设备真空控制提供核心数据。技术规格
- 测量范围：大气压（760Torr）–10⁻⁹Torr
- 测量精度：±0.25% F.S.（全量程）
- 响应时间：≤50ms
- 输出信号：4–20mA 模拟量 + RS485 数字量
- 供电电压：24V DC
- 材质：316L EP 级不锈钢传感头 + 金属屏蔽外壳
- 防护等级：IP65（设备内部使用）功能特点
- 宽量程覆盖，单模块替代多传感器，简化系统
- 测量精度高，长期稳定性好，漂移极小
- 抗电磁干扰能力强，适配复杂工业环境
- 支持远程校准与故障诊断，维护便捷
- 与 AMAT 设备真空控制系统无缝兼容应用场景：工艺腔体真空度监控、分子泵 / 干泵机组压力监测、真空检漏系统、晶圆制程真空联锁控制、半导体厂真空管道压力监控。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 