产品名称：设备主控逻辑控制板卡产品简介：半导体机台核心控制板卡，负责设备整体逻辑运算、I/O 信号处理、执行机构联动控制及安全联锁管理，是设备自动化运行的核心中枢。技术规格
- 处理器：工业级 32 位高性能微处理器
- 工作电压：24V DC
- I/O 接口：32 路数字量输入 / 16 路数字量输出、8 路模拟量输入
- 通信协议：DeviceNet/Profibus-DP/AMAT 专用总线
- 工作温度：0–50℃
- 防护：设备内部洁净环境使用，抗静电、抗干扰功能特点
- 运算速度快，响应时间≤1ms，保障设备实时控制
- 多通道信号隔离，抗干扰能力强，运行稳定可靠
- 内置故障诊断与状态反馈，便于快速排障
- 模块化设计，即插即用，替换便捷
- 支持程序在线升级与参数配置应用场景：刻蚀 / 沉积 / 离子注入设备主控、机台状态监控、阀件 / 泵体 / 机械手联动控制、设备安全联锁系统、半导体设备自动化控制单元。
AMAT QS-100NP-MP 
AMAT 0020-26158 
AMAT 0200-09768 